Showing posts with label Công nghệ bán dẫn. Show all posts
Showing posts with label Công nghệ bán dẫn. Show all posts
 Đèn LED xanh dương - Giải Nobel 2014, quan trọng thế nào?

Đèn LED xanh dương - Giải Nobel 2014, quan trọng thế nào?

Khi ứng dụng của đèn LED đã trở nên thông dụng, hẳn không nhiều người hiểu rằng, sự ra đời của đèn LED xanh dương có ý nghĩa như thế nào.

Thông cáo của Ủy ban Nobel Thụy Điển về Giải Nobel Vật lý 2014 ngày 7/10 đã khẳng định rằng, việc phát minh ra đèn LED xanh dương của 3 nhà khoa học Nhật Bản là một cuộc cách mạng trong công nghệ chiếu sáng.

“Họ đã tạo nên một cuộc cách mạng. Họ đã thành công khi những người khác thất bại. Bóng đèn sợi đốt đã thắp sáng thế kỷ 20, còn thế kỷ 21 sẽ được thắp sáng bởi bóng đèn LED”, thông cáo viết.

Cuộc “cách mạng” mà Ủy ban Nobel nhắc đến, thực chất bắt đầu từ hơn 20 năm trước.

LED là từ viết tắt của Light Emitting Diode, có nghĩa là điốt phát quang, là các điốt có khả năng phát ra ánh sáng hay tia hồng ngoại, tử ngoại. Cũng giống như điốt, LED được cấu tạo từ một khối bán dẫn loại p ghép với một khối bán dẫn loại n.

Các nhà khoa học tạo ra LED từ những năm đầu thế kỷ trước. Tuy nhiên, đến những năm 50 của thế kỷ trước thì những LED hồng ngoại đầu tiên mới được thực tế hóa.

LED đầu tiên ra ánh sáng có thể nhìn thấy là loại LED đỏ do Nick Holonyak, Jr. phát hiện vào năm 1962. Vì vậy, cho tới nay, Holonyak vẫn được coi là cha đẻ của LED. Mười năm sau đó, George Craford đã phát minh ra LED vàng đầu tiên và đã cải thiện thêm độ sáng lên 10 lần cho LED đỏ cũng như LED đỏ-cam. Trong khi các LED màu đỏ và sau đó là LED màu xanh lá đã được tạo ra trong suốt một thời gian dài thì việc tạo ra LED màu xanh dương vẫn là một thách thức với các nhà khoa học thời bấy giờ.

Phải mất tới gần 30 năm, người ta mới vượt qua được thách thức này. Đó là vào năm 1994, khi Shuji Nakamura, làm việc tại Công ty Nichia của Nhật Bản lần đầu tiên tạo ra LED màu xanh dương.

Phát minh LED màu xanh dương đã tạo ra một cuộc cách mạng trong công nghệ chiếu sáng.

Hai công nghệ mấu chốt trong phát minh của Shuji Nakamura là cấy GaN trên lớp nền Saphia và tạo lớp bán dẫn P từ GaN (do Isamu Akasaki và H. Amano, hai nhà nghiên cứu tại Đại học Nagoya phát triển). Việc tạo ra LED màu xanh dương có ý nghĩa cực kỳ quan trọng bởi lẽ, thiếu màu sắc này, người ta không thể tạo ra được những LED với ánh sáng màu trắng giống như ánh sáng tự nhiên của mặt trời.

Ánh sáng màu trắng trong tự nhiên mà chúng ta nhìn thấy thực chất là sự pha trộn của tất cả các ánh sáng đơn sắc. Mắt người chỉ nhạy cảm với ba vùng quang phổ (gần tương ứng với vùng màu da cam, xanh lá cây và xanh lam trên quang phổ), do vậy, chỉ khi tạo được các LED màu xanh dương, một trong 3 màu gốc, người ta mới có thể tạo ra được ánh sáng màu trắng.

Sự ra đời của LED xanh dương cùng với phát minh về LED hiệu suất cao một năm sau đó đã chính thức tạo ra LED màu trắng. Cũng bắt đầu từ đây, các điốt phát quang (LED) mới chính thức tạo ra sự thay đổi căn bản trong công nghệ chiếu sáng.

Ngày nay, các bóng đèn LED được ứng dụng rộng rãi trong chiếu sáng do có độ bền cao và tiết kiệm điện năng vượt trội so với bóng đèn sợi đốt truyền thống. So sánh cho thấy, các bóng đèn LED sử dụng tiết kiệm hơn 85% điện năng so với bóng đèn truyền thống.

Ngoài ra, do kích thước của LED rất nhỏ nên chúng cũng được ứng dụng rất rộng rãi trong điện tử cần độ chính xác cao, đặc biệt là màn hình hiển thị của TV và điện thoại cùng nhiều ứng dụng thực tế khác.

Ba nhà khoa học đoạt giải Nobel Vật lý năm 2014.

Đèn LED có thể gây mù lòa?

Các nhà khoa học Tây Ban Nha phát hiện, việc tiếp xúc với ánh sáng của các đèn LED có thể gây ra những tổn hại không thể chữa trị được đối với võng mạc của mắt người.

Tiến sĩ Celia Sánchez-Ramos đến từ Đại học Complutense ở Madrid và là người đứng đầu nhóm nghiên cứu Tây Ban Nha, lý giải rằng, ánh sáng của các đèn LED bắt nguồn từ dải màu xanh lam và tím, vốn có năng lượng cao và sóng ngắn của quang phổ nhìn thấy được.

Theo bà Sánchez-Ramos, việc tiếp xúc liên tục và kéo dài với dạng ánh sáng này có thể đủ để gây hại cho võng mạc của mắt người. Võng mạc cấu tạo gồm các tế bào nhạy cảm ánh sáng, chịu trách nhiệm phát hiện ánh sáng và cho phép con người nhìn thấy xung quanh.

"Vấn đề trở nên ngày càng nghiêm trọng vì con người đang sống thọ hơn và trẻ em sử dụng các thiết bị điện tử từ khi còn nhỏ tuổi, đặc biệt do yêu cầu của việc học hành. Mắt người không có cấu tạo nhìn trực tiếp ánh sáng, mà quan sát được vạn vật nhờ ánh sáng", tiến sĩ Sánchez-Ramos cho biết trên trang ThinkSpain.com.

Phát biểu của tiến sĩ Sánchez-Ramos một phần dựa vào nghiên cứu của bà năm 2012, đã được đăng tải trên tạp chí Photochemistry and Photobiology. Nghiên cứu này khám phá ra rằng, bức xạ của đèn LED gây tổn hại đáng kể đến các tế bào biểu mô sắc tố võng mạc.

Một số chuyên gia đã lên tiếng kêu gọi trang bị thêm cho đèn LED các thiết bị lọc giúp loại bỏ ánh sáng chói màu xanh lam.

Một nghiên cứu do Đại học Antwerp tiến hành hồi đầu năm nay từng phát hiện, ánh sáng đèn LED đã tẩy trắng sơn trên các tác phẩm của hai danh họa Van Gogh và Cézanne.

Theo Daily Mail

Phân loại và chi tiết nguyên lý hoạt động của các loại Diode thông dụng

Phân loại và chi tiết nguyên lý hoạt động của các loại Diode thông dụng

Diode được tạo thành từ hai lớp bán dẫn loại P và N tiếp xúc công nghệ với nhau, là một loại linh kiện bán dẫn chỉ cho phép dòng điện đi qua nó theo một chiều mà không theo chiều ngược lại. Tùy theo mật độ chất tạp pha vào chất bán dẫn thuần ban đầu, tùy theo sự phân cực của diode và một số yếu tố khác nữa mà ta có nhiều loại diode khác nhau và tầm ứng dụng của chúng cũng khác nhau.

Diode chỉnh lưu:
Là diode thông dụng nhất, dùng để đổi điện xoay chiều sang điện một chiều. Diode này tùy loại có thể chịu đựng được dòng từ vài trăm mA đến loại công suất cao có thể chịu được đến vài trăm ampere. Diode chỉnh lưu chủ yếu là loại Si, nhưng các chất bán dẫn khác như selen hoặc germani thỉnh thoảng cũng được sử dụng. Hai đặc tính kỹ thuật cơ bản của Diode chỉnh lưu là dòng thuận tối đa và điện áp ngược tối đa (Điện áp sụp đổ). Hai đặc tính này do nhà sản xuất cho biết.
Tổng quan nguyên lý, tham số, đặc tuyến và ứng dụng của Diode

Tổng quan nguyên lý, tham số, đặc tuyến và ứng dụng của Diode


Là linh kiện được cấu thành từ 2 lớp bán dẫn tiếp xúc công nghệ. Nó bao gồm một số loại diode thông dụng như bên dưới:
  • Diode chỉnh lưu
  • Diode tách sóng
  • Diode ổn áp (diode Zener)
  • Diode biến dung (diode varicap hoặc varactor)
  • Diode hầm (diode Tunnel)
Xem thêm phần phân loại và chi tiết nguyên lý hoạt động của từng loại diode ở trong bài viết khác tại đây.

Cấu tạo:
Cho hai lớp bán dẫn loại P và N tiếp xúc công nghệ với nhau, ta được một diode.
Đo lường và kiểm tra trong quá trình sản xuất wafer bán dẫn

Đo lường và kiểm tra trong quá trình sản xuất wafer bán dẫn

Đo lường và kiểm tra
Đo lường và kiểm tra là 2 công đoạn đóng vai trò hết sức quan trọng trong quy trình quản lý sản xuất chất bán dẫn. Quá trình sản xuất một wafer bán dẫn có thể trải qua 400 đến 600 bước khác nhau, kéo dài trong khoảng 1-2 tháng. Vấn đề là nếu có lỗi phát sinh sớm ở bất kỳ bước nào trong quá trình này, tất cả các bước xử lý tiếp theo sẽ trở thành vô ích và lãng phí. Do đó các công đoạn đo lường và kiểm tra được triển khai tại các khâu quan trọng của quá trình sản xuất để đảm bảo rằng một lượng nhất định chắc chắn giữu lại được.
Vật liệu bán dẫn – Silicon (Si) và Mạch tích hợp (IC)

Vật liệu bán dẫn – Silicon (Si) và Mạch tích hợp (IC)

Vật liệu bán dẫn – Silicon (Si) 
Chất bán dẫn được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị điện, điện tử hàng ngày như máy tính cá nhân, TV, điện thoại thông minh, máy ảnh kỹ thuật số, thẻ IC, vv…Vật liệu bán dẫn được sử rộng dãi nhất trong ngành công nghiệp bán dẫn là Silic (ký hiệu hóa học = Si). Silic là nguyên tố phổ biến thứ hai trên trái đất sau oxy. Hầu hết Silic được tìm thấy trong đất và đá, nhưng nó cũng được chứa trong nước tự nhiên, cây cối và thực vật.

Tuy nhiên, trong tự nhiên Silic thường được tìm thấy ở dạng hợp chất với oxy, nhôm và magiê. Kết quả là, để thu được Silic tinh khiết chúng ta phải chiết xuất từ ​​các hợp chất của chúng. Silic được sử dụng trong các thiết bị bán dẫn dưới dạng các mạch tích hợp (IC) đòi hỏi có cấu trúc đơn tinh thể và độ tinh khiết siêu cao "99,999999999%" (gọi là "eleven nines hay 11 số 9") và được tinh chế bằng rất nhiều quá trình xử lý khác nhau sau khi khai thác.
Lịch sử hình thành và đặc tính của Vật liệu bán dẫn

Lịch sử hình thành và đặc tính của Vật liệu bán dẫn

Lịch sử của vật liệu bán dẫn

Việc xem xét sự ra đời của các chất bán dẫn đem chúng ta quay ngược trở lại năm 1874 khi bộ chỉnh lưu (AC-DC converter) được phát minh. Nhiều thập kỷ sau đó, Bardeen và Brattain tại Bell Laboratories - Mỹ đã phát minh ra transistor tiếp điểm vào năm 1947, và Shockley đã phát minh ra transistor lớp chuyển tiếp vào năm 1948. Điều này báo trước sự xuất hiện của thời đại transistor. Năm 1946, Đại học Pennsylvania - Mỹ đã xây dựng một hệ thống máy tính đầu tiên sử dụng các đèn chân không. Hệ thống máy tính này có kích thước rất lớn, nó chiếm toàn bộ tòa nhà, và nó tiêu thụ một số lượng lớn điện năng đồng thời tỏa ra rất nhiều nhiệt. Sau đó, transistor tính toán được phát triển, và kể từ đó công nghệ máy tính có bước phát triển nhảy vọt. Năm 1956, giải Nobel Vật lý được trao đồng thời cho 3 nhà khoa học Shockley, Bardeen và Brattain cho những đóng góp của họ cho sự nghiên cứu và phát triển của bóng bán dẫn.
Đo đạc và khảo sát thông số công nghệ của wafer - Probe Station, Automatic Tester, Final test

Đo đạc và khảo sát thông số công nghệ của wafer - Probe Station, Automatic Tester, Final test

Probe station, nói thật đơn giản nó là một cái DMM với những que đo thật nhỏ (nhọn) để đo chip trên wafer hoặc các chỗ dành cho thử nghiệm trên mặt wafer kêu là test pattern.

Những que đo này rất nhỏ, thường thì đường kính chừng 1 mil (1000 của một inch). Họ gắn những que đo này vô các "tay" giữ rồi dùng microscope mà đưa nó tới chỗ thử trên mặt wafer. Wafer thì được dùng vacuum giữ chặt lại.

Thế thì họ đo cái gì? đủ thứ hết.
Đo ở đâu ? Ở trên mặt wafer họ sẽ làm những miếng kim loại kêu là pad để que đo chọc vô.

Thin film - Kỹ thuật màng mỏng (P2): Chi tiết quá trình xử lý

Thin film - Kỹ thuật màng mỏng (P2): Chi tiết quá trình xử lý

Tìm hiểu các phương pháp và kỹ thuật dùng trong khâu Thin film tại đây
Trong bài viết này sẽ đi sâu chi tiết vào quá trình này và chủ yếu về màng mỏng cho lớp dẫn điện, lớp cách điện và cuối cùng là lớp bảo vệ vi mạch IC đã hoàn thiện.

Wafer sau khi đã có transistor rồi thì mục kế tiếp là nối chúng lại với nhau bằng dây kim loại.
Khâu làm về phần kim loại này thường được gọi là khâu Thin film. Tuy nhiên không phải lúc nào khâu này cũng làm về kim loại. Khâu này cũng làm về lớp EPI (Epitaxy) hay làm lớp cách điện để các dây không chạm nhau.

Một số màng phổ biến bao gồm:
• Silicon Dioxide - chất cách điện.
• Silicon Nitride - bảo vệ vi mạch IC đã hoàn thiện.

• Polysilicon - được sử dụng làm dây dẫn và điện cực điều khiển cho một số loại bóng bán dẫn.
• Nhôm - được sử dụng làm conductor.
• Đồng - loại conductor mới nhất, có điện trở thấp hơn nhôm.

• Titanium Nitride hoặc Tantalum Nitride - được sử dụng làm rào cản giữa các màng để ngăn tương tác.



Thin film - Kỹ thuật màng mỏng (P1): CVD, PVD, LPCVD, Sputter, evaporation...

Thin film - Kỹ thuật màng mỏng (P1): CVD, PVD, LPCVD, Sputter, evaporation...

Kỹ thuật màng mỏng
Thin Films - Màng mỏng

Thường có độ dày từ một vài micron đến vài nanomet.
Các màng phổ biến bao gồm:
• Silicon Dioxide - chất cách điện.
• Silicon Nitride - bảo vệ vi mạch IC đã hoàn thiện.
• Polysilicon - được sử dụng làm dây dẫn và điện cực điều khiển cho một số loại bóng bán dẫn.
• Nhôm - được sử dụng làm conductor.
• Đồng - loại conductor mới nhất, có điện trở thấp hơn nhôm.
• Titanium Nitride hoặc Tantalum Nitride - được sử dụng làm rào cản giữa các màng để ngăn tương tác.
....

Chủ yếu để tạo những lớp vật liệu có bề dày như mong muốn lên trên một lớp vật liệu khác. Đây là quá trình đòi hỏi khá nhiều kiến thức bổ xung như kỹ thuật chân không, cấu trúc vật liệu…Các kỹ thuật cơ bản để tạo màng mỏng ở đây gồm hai phương pháp – vật lý và hoá học. Phương pháp vật lý bao gồm: phún xạ (sputtering), bốc bay hơi nhiệt (evaporation), phương pháp phun tĩnh điện…Trong khi đó phương pháp hoá học có: lắng đọng hoá học pha hơi (CVD), lắng đọng hoá học pha hơi áp suất thấp (LPCVD), và Sol-gel.
Giới thiệu về Vacuum Transfer Module (Vacuum Cluster Tool) - module truyền dẫn chân không (P1)

Giới thiệu về Vacuum Transfer Module (Vacuum Cluster Tool) - module truyền dẫn chân không (P1)

1. Giới thiệu chung:

Vacuum Transfer Module - VTM (Vacuum Cluster Tool) hay có thể gọi tên sang tiếng Việt là module truyền dẫn (vận chuyển trong) chân không. Module này được dùng rất nhiều trong các nhà máy sản xuất liên quan đến công nghệ bán dẫn (fab) và thường là sẽ làm việc trong môi trường phòng sạch. Trong ngành sản xuất linh kiện bán dẫn nó là một module trung gian để vận chuyển wafer (silicon wafers hoặc quartz photo-masks) giữa môi trường khí quyển (thường viết tắt là atm trong từ atmosphere) và môi trường chân không (thường viết tắt là vac trong từ vacuum) từ bộ EFEM (Equipment Front End Module) là module trang bị đầu vào (đưa đến wafer chưa qua xử lý và nhận lại wafer đã được xử lý xong) tới các module xử lý (PM- process module chẳng hạn như các module deposition, photoresist, aligner (align photo mask), UV light, etch...) để xử lý wafer theo yêu cầu. Tùy theo một hệ thống với chức năng nào đó mà có thể chứa 1,2 hoặc nhiều module truyền dẫn chân không này. Hãy xem một số hình bên dưới để thấy rõ hơn.


Đây là một hệ thống OLED Equipment bao gồm 1 module VTM với 3 buồng TM (là buồng chứa vacuum robot làm nhiệm vụ trung chuyển wafer trong môi trường chân không, các bạn có thể thấy xung quanh buồng TM có các khối vuông với các chữ viết tắt như PT, LL, Mask, HTL, HIL... đó chính là các module xử lý (PM) mà tấm wafer sẽ được di chuyển đến cho các công đoạn xử lý khác nhau.
Buffer chính là buồng đệm để vận chuyển wafer xuyên giữa các module TM với nhau. TM là buồng chamber có chứa Vacuum Robot, chi tiết hơn sẽ đề cập ở bên dưới.

Một số hệ thống khác:



Một hệ thống khác


2. Cấu tạo chung của một Vacuum Transfer Module (VTM):
Thường thì tùy theo bài toán và mục sản xuất mà các module VTM khác nhau được thiết kế ra. Dùng loại wafer nào? 200mm, 300mm, 400mm... theo đó kích thước buồng chamber (gồm TM chamber và Loadlock chamber, sẽ nói cụ thể sau) sẽ khác nhau. Có mấy module xử lý (PM) để thiết kế buồng TM chamber có mấy cửa theo đó, TM chamber có thể là hình vuông, hình lục giác, bát giác... Ngoài ra còn nhiều yếu tố khác ảnh hưởng đến thiết kế một VTM như có tích hợp TM pump luôn không hay tách rời, có spare module xử lý (PM) nào không, có tích hợp LPM- Loadport module (cổng load wafer)... Hãy cùng xem một số hình bên dưới để thấy rõ hơn.
Kiểu 2 buồng TM chamber với 5 cửa PM, Load lock : STACK Type, wafer 200mm


Kiểu 1 buồng TM chamber với 4 cửa PM, Load lock : STACK Type, wafer 300mm

Kiểu 1 buồng TM chamber với 6 cửa PM, Load lock : DUAL STACK TYPE,, wafer 300mm
Kiểu 1 buồng TM chamber với 4 cửa PM, Load lock : ANGLE Type, wafer 300mm
Kiểu 1 buồng TM chamber với 6 cửa PM, Load lock : ANGLE Type, wafer 200mm

Bây giờ chúng ta hãy cùng đi vào tìm hiểu chi tiết nhé:

2.1 Loadlock: Cửa đón nhận wafer, cấp wafer chưa qua xử lý từ EFEM tới buồng TM, rồi từ đây thông qua Robot chân không (vacuum robot) các wafer đó sẽ được vận chuyển sang các PM module để xử lý theo yêu cầu.
Ở phía trước có các Door valve và phía sau có các Slot valve giống như tên gọi chúng là các cửa đóng mở được vận hành dựa theo chu trình bơm chân không và quá trình vận chuyển wafer từ bên ngoài vào bên trong buồng chamber chính (TM chamber).

Chiếu sáng bằng OLED, so sánh với đèn LED

Chiếu sáng bằng OLED, so sánh với đèn LED


Đèn thả chùm dùng OLED

Trong một bài viết trước ta đã thấy dùng OLED (organic light emitting diode - điốt phát sáng hữu cơ hay LED hữu cơ) để làm màn hình, màn hình sáng đẹp hơn, nhìn nghiêng vẫn thấy rõ, ít tiêu hao năng lượng, có ưu điểm vượt trội so với màn hình LCD.

Nhưng OLED không phải chỉ được dùng để làm màn hình. OLED thực sự đã tạo nên một cuộc cách mạng trong chiếu sáng. Cách đây không lâu, người ta nói rằng LED tạo nên một cuộc cách mạng trong kỹ thuật chiếu sáng, vậy sao nay lại nói OLED tạo nên cuộc cách mạng?

Ta biết rằng LED làm từ tinh thể bán dẫn hợp chất, thường là AsGa. (arsenic-gali). Bằng kỹ thuật vi điện tử, người ta pha tạp rất tinh vi để tạo ra trên bán dẫn lớp tiếp xúc p-n ở gần bề mặt. Khi tác dụng hiệu thế lên tiếp xúc p-n theo chiều thuận (cực âm nối với n, cực dương nối với p), điện tử bị đẩy chạy lại gặp lỗ trống, tái hợp với lỗ trống ở ngay cùng có tiếp xúc p-n. Khi tái hợp, tức là khi điện tử nhảy vào lỗ trống để thành nguyên tử trung hoà, có ánh sáng phát ra (photon), đó là ánh sáng của đèn LED. Cách phát sáng bằng LED rất tiết kiệm về năng lượng, là cách thắp sáng tiết kiệm điện nhất.

Ưu điểm của thắp sáng bằng LED ai cũng thấy rõ. Tuy nhiên có một nhược điểm quan trọng. Đó là do phải chế tạo lớp bán dẫn có tiếp xúc p-n rất tinh vi không thể làm trên diện tích lớn được nên mỗi đèn LED chỉ rất sáng ở một điếm nhỏ. Muốn có một diện tích sáng rộng nhìn vào ít chói, phải ghép nhiều LED, phải dùng chao đèn, tấm chắn mờ v.v... Tiết kiệm điện thật nhưng vẫn còn bất tiện khi mắt người quen với ánh sáng thiên nhiên. Có cách thắp sáng nào cũng tiết kiệm điện nhưng thuận tiện hơn, mỹ thuật hơn không? Câu trả lời hiện nay là có: thắp sáng dựa trên OLED. Ta biết rằng OLED gần đây phát triển rất mạnh là nhờ thành công về nghiên cứu polyme dẫn điện một lĩnh vực kết hợp rất chặt chẽ giữa hoá và lý, đã có nhiều giải nobel được trao tặng.
So sánh hai loại màn hình LCD là PMLCD và AMLCD

So sánh hai loại màn hình LCD là PMLCD và AMLCD

1. Ưu và nhược điểm của PMLCD
Trong bài viết này đã xét đến nguyên tắc hoạt động của màn hình LCD và tìm hiểu kiểu đơn giản và phổ biến là LCD ma trận thụ động PMLCD (passive matrix LCD)Ta đã thấy về cấu tạo, ở PMLCD trên và dưới là hai tấm kính (bằng thủy tinh hoặc polyme trong suốt), ở mỗi tấm kính có dán các lá mỏng làm phân cực ánh sáng và làm cho các phân tử hình que của tinh thể lỏng định hướng song song khi tiếp xúc. Lớp tinh thể lỏng được đặt giữa hai tấm kính và gắn kín.
Ở tấm kính trên có các dải dẫn điện song song, nằm gần khít nhau, dọc theo các hàng ký hiệu là x1,x2,x3... Tương tự ở tấm kính dưới có các dải dẫn điện dọc theo các cột ký hiệu là y1,y2,y3...(hình 1)
Hình 1. Màn hình PMLCD (sơ đồ)
Các dải dẫn song song theo hàng và theo cột trên dưới cách nhau, ở mỗi chỗ hàng và cột giao nhau có một cột tinh thể lỏng nối liền hàng ở trên và cột ở dưới (vẽ tượng trưng như điện trở)

Nếu phát các xung điện chạy theo các hàng x và các cột y và tính toán sao cho khi ở chỗ giao nhau của hàng xi và cột yk xung theo hàng và cột cùng đến một lúc thì phần tinh thế lỏng ỏ vị trí ik có điện thế tác dụng ở cực trên và cực dưới đủ mức để tạo ra điện trường hướng cho các phân tử hình que nằm song song, ánh sáng phân cực không lọt qua được, vị trí ik này tối. Tương tự đối với vị trí giao nhau nào, không có đủ hai xung điện đến cùng một lúc, ánh sáng phân cực lọt qua được, vị trí đó sáng. Có thể hình dung ở mỗi chỗ mà dải dẫn theo hàng và dải dẫn theo cột giao nhau có một cột tinh thể lỏng, hai đầu là hai cực dẫn điện. Tất cả các cột tinh thể lỏng nhỏ li ti đó sắp xếp trật tự thành một ma trận các phân tử ảnh của màn hình.

Việc điều khiển phần tử ảnh nào sáng, phần tử ảnh nào tối để tạo ra hình ảnh trên màn hình được thực hiện bằng trình tự phát các xung điện (dài, ngắn, thưa, mau khác nhau) chuyển động dọc dải dẫn theo hàng và theo cột. Ở thời điểm mà cột tinh thể lỏng ik có xung điện theo hàng và xung điện theo cột đến cùng một lúc, hai điện cực ở hai đầu cột tinh thể tạo ra một điện trường đủ sức để hướng các phân tử hình que nằm song song điện trường. Lúc đó ánh sáng phân cực không lọt qua được, phần tử ảnh ik sẽ tối. Ngược lại khi cột tinh thể lỏng ik có xung theo hàng và theo cột không đến cùng một lúc, không đủ điện trường để hướng cho các phân tử hình que song song, cột tinh thể lỏng cho ánh sáng phân cực đi qua được, phần tử ảnh ik sẽ sáng.

Tìm hiểu sâu về Bộ nhớ Flash

Tìm hiểu sâu về Bộ nhớ Flash

1. Vài điều cần biết vế bộ nhớ
Ta đã biết ở kỹ thuật số nguời ta dùng hệ nhị phân chỉ có hai số là 0 và 1 và mọi thông tin đều có thể biểu diễn theo quy ước thành chuỗi các số 0 và 1 . Vì vậy để nhớ thông tin người ta làm bộ nhớ gồm các phần tử nhớ sắp xếp theo một thứ tự nhất định, mỗi phần tử nhớ có hai trạng thái quy ước là trạng thái 0 và trạng thái 1.

Mỗi phần tử nhớ chỉ có thể ở một trong hai trạng thái tức là chỉ có thể ghi được 1 bít thông tin (ký hiệu là b). Bộ nhớ có bao nhiêu phần tử nhớ là chứa được bấy nhiêu bít thông tin. Cứ 8 bít thông tin là một byte (ký hiệu là B). Bộ nhớ dung lượng 8 bít hay 1 byte rất nhỏ, chỉ nhớ được một con số, một chữ viết v.v... Để nhớ các chữ viết trên một trang giấy phải cần đến hàng chục nghìn byte, để nhớ được một bức ảnh chụp phải cần đến cỡ năm triệu byte v.v... do đó khi nói đến bộ nhớ, người ta hay dùng những đơn vị kilobyte (kB = 103B nghìn byte), megabyte (MB = 106B - triệu byte), gigabyte (GB = 109B - tỷ byte) terabyte (TB = 1012B - nghìn tỷ byte).

Khi nói đến bộ nhớ, người ta thường chú ý đến những đặc điểm sau đây:
- Bộ nhớ nhớ được nhiều hay ít, nói cách khác dung lượng bộ nhớ là bao nhiêu byte. Thí dụ bộ nhớ là đĩa CD có dung lượng cỡ 0,7GB, đĩa DVD có dung lượng cỡ 4,7GB còn ổ cứng ở máy tính có dung lượng 3TB.
- Ghi và đọc ở bộ nhớ như thế nào. Có bộ nhớ khi chế tạo người ta đã ghi sẵn, chỉ có thể dùng để đọc những thông tin đã ghi gọi là ROM (read only memory), có bộ nhớ chỉ ghi được một lần thí dụ đĩa W-CD (Writable CD), có bộ nhớ ghi đi ghi lại được nhiều lần, thí dụ RW-CD (Rewritable CD). Ổ cứng ở máy tính có cấu tạo gồm nhiều đĩa từ (độ 5 đĩa) là một bộ nhớ dung lượng rất lớn (cỡ 3TB) và ghi đi ghi lại được rất nhiều lần.
Do đó ở máy tính, ổ cứng là bộ nhớ quan trọng nhất.
Transito trường cổng nổi và bộ nhớ Flash

Transito trường cổng nổi và bộ nhớ Flash

Một ổ USB flash. Chip bên trái là bộ nhớ flash. Bên phải là bộ vi điều khiển.

Trong những năm gần đây ta thấy có những máy điện tử rất nhỏ, cơ động nhưng có khả năng nhớ rất kỳ lạ, khó tưởng tượng. Một chiếc thẻ USB to chỉ bằng ngón tay nhưng có thể ghi nhớ hàng nghìn trang sách, hàng trăm bức ảnh, đem cắm vào máy in, in ra được cả tập giấy dày, đưa vào máy in ảnh, hàng loạt ảnh màu đẹp đẽ lần lượt hiện ra trước mặt. Một chiếc máy ảnh số, to chỉ bằng ba ngón tay, chụp ảnh tự động rất nhanh chóng, ghi lại hàng nghìn ảnh vào thẻ nhớ, những ảnh màu mà máy ảnh cũ chụp hàng trăm cuộn phim vẫn chưa đủ. Và kỳ lạ hơn nữa là chiếc điện thoại di động to chưa bằng hai bao diêm, mà nhớ và làm được rất nhiều chức năng: gọi đi, nhận cuộc gọi đến, ghi lại tin nhắn, nhắn tin đi, chụp lưu lại hàng trăm bức ảnh, quay phim nửa tiếng đồng hồ, ghi nhớ hàng trăm địa chỉ điện thoại khi cần gọi ra có ngay nhanh chóng. Rất nhiều thành tựu vật lý mới được ứng dụng trong những chiếc máy nhỏ xíu đó riêng vấn đề nhớ ở đây sử dụng phổ biến bộ nhớ flash, một bộ nhớ mới bắt đầu có từ năm 1984 do kỹ sư người Nhật Fujio Masuoda sáng tạo ra. Để hiểu về bộ nhớ flash ở các loại máy đó, ta cần xét vấn đề rất chung là ở kỹ thuật số việc “nhớ” thực hiện như thế nào, sau đó ta tìm hiểu transito trường và transito trường cổng nổi là phần tử nhớ cơ bản của bộ nhớ flash và cuối cùng ta xét xem cấu tạo của bộ nhớ flash là bộ nhớ điện tử, hiện đại và thuận tiện nhất hiện nay.

1. Các máy điện tử ngày nay lưu trữ thông tin như thế nào?
Các máy điện tử hiện đại trong đó có máy tính đều xử lý thông tin theo kỹ thuật số. Các chữ viết như a, b, c, d... cũng như các số như 0,1,2,3,4, v.v... đều được quy ước chuyển thành một chuỗi hai số 0 và 1 ở mã nhị phân. Thí dụ ở chuẩn ASCII chữ A được lưu trữ bằng chuỗi bảy chữ số ở mã nhị phân là 1000001, số 7 là chuỗi các chữ số 110111, dấu móc vuông ([) là 1011011, dấu (?) là 111111 v.v... Tất cả các máy tính đều sử dụng những chuỗi ký hiệu đó vì những người chế tạo ra chúng đều đồng ý dùng chuẩn ASCII tức là mã số chuẩn của Mỹ dùng để trao đổi thông tin (American Standard Code for Information Interchange).
Hình 1. Bộ nhớ dãy cờ ghi 110111 là số 7 ở hệ thập phân

Như vậy đối với mọi thông tin có thể chuyển ra thành chuỗi các số 0 và 1 để ghi nhớ và xử lý. Trước hết ta xem cách ghi nhớ thực hiện như thế nào. Có thế lấy một thí dụ dễ hiểu sau đây (hình 1). Bộ nhớ của ảnh A là một dãy 8 cây cờ cách đều nhau, thẳng hàng và quy ước mỗi cây cờ chỉ có hai trạng thái: khi cây cờ dựng thẳng lên cao là trạng thái 1 (số 1) và đặt nằm thấp ngang mặt đất là trạng thái 0 (số 0). Ban đầu cả 8 cây cờ đều nằm thấp, chưa nhớ gì cả. Khi được lệnh ghi nhớ số 7 ở hệ thập phân thông thường chẳng hạn thì ảnh A phải chuyến số 7 sang chuỗi 110111 ở hệ nhị phân và dựng hoặc không dựng các cây cờ lên để ghi được chuỗi 110111 như ở hình vẽ 1.

Tìm hiểu chi tiết về màn hình phẳng LCD

Tìm hiểu chi tiết về màn hình phẳng LCD

1. CRT và những nhược điểm
Làm cho hình ảnh chữ viết nhanh chóng hiện lên để mắt cảm nhận được (hiển thị) là một yêu cầu quan trọng của công nghệ thông tin.
Phổ biến truớc đây là cách dùng ống tia điện tử CRT (Cathode Ray Tube). Bên trong ống chân không (Tube) có một nguồn phát ra điện tử, điện tử được tăng tốc đế tạo ra chùm tia điện tử (Cathode Ray), (hình 1) Chùm tia này chiếu vào màn huỳnh quang, chỗ chiếu vào trở thành một điểm sáng, trong tạo ảnh nguời ta gọi đó là một điểm ảnh hay đúng hơn là một phần tử ảnh pixel (picture element), ở CRT phần tử ảnh sáng nhiều hay ít là tùy thuộc tia điện tử đến mạnh hay yếu, có màu sắc gì là tuy thuộc chất liệu của màn huỳnh quang, nơi tia điện tử chiếu vào.

Hình 1. CRT
A Nguồn phát điện tử
B: Ống thủy tinh hút chân không
C: Điện thế tăng tốc
E: chùm tia điện tử
F: màn huỳnh quang

Bằng cách quét tia điện tử theo hàng theo cột với tốc độ sao cho trên màn hình CRT hiện lên được 24 hình/giây, do hiện tượng lưu ảnh ở võng mạc, ta nhìn thấy được hình ảnh liên tục. Nhược điểm quan trọng của CRT là muốn cho tia điện tử quét ngang dọc được cả màn hình để tạo ảnh, nguồn phát điện tử phải cách màn hình một khoảng cỡ bằng bề ngang hoặc bề dọc của màn hình. Điều này làm cho CRT cồng kềnh, chiếm thể tích, không thể nào phẳng được.
Đó là chưa kể nhiều bất tiện khác như phải có nguồn cao thế, phải hút chân không, nguồn phát điện tử nóng v.v...
Để làm màn hình phẳng phải tạo được các phần tử ảnh trên màn hình và điều khiển được độ sáng tối của các phần tử ảnh này nhờ các đường dây dẫn nằm song song với mặt của màn hình. Để thấy cụ thể hơn ta xét chi tiết hai loại màn hình phẳng LCD và OLED.

Cấu tạo và nguyên lý hoạt động của màn hình OLED

Cấu tạo và nguyên lý hoạt động của màn hình OLED

1. Ưu nhược điểm của màn hình LCD
Trong bài viết "Tìm hiểu chi tiết về màn hình LCD" bạn có thể thấy nguyên tắc hoạt động của màn hình LCD kiểu ma trận thụ động PM và kiểu ma trận tích cực AM.
Thực ra ở màn hình LCD, tinh thế lỏng LC (liquid crystal) chỉ làm nhiệm vụ chặn lại hoặc là cho ánh sáng lọt qua khi tác dụng hoặc là không tác dụng điện thế lên hai cực điện ở hai đầu cột tinh thể lỏng. Còn bản thân ánh sáng phải là từ bên ngoài chiếu đến.
Nhờ có nhiều ưu điếm như có thể điều khiến tinh vi, nhanh, nhạy, ít tiêu tốn năng luợng, màn hình LCD đã trở nên phổ biến, được ưa chuộng trong mấy chục năm nay. Tuy nhiên màn hình LCD có một số nhược điểm không khắc phục được, chủ yếu là:
- Bản thân tinh thế lỏng không phát ra ánh sáng, trái lại ít nhiều che bớt ánh sáng từ ngoài đến. Do đó, khó làm cho hình ảnh hiện lên thật sáng rõ, thật tương phản.
- Tương phản ở màn hình LCD chỉ tối ưu khi nhìn vào màn hình theo hướng vuông góc và giảm rất nhanh khi nhìn nghiêng. Ta sẽ thấy ở phần sau, màn hình OLED khắc phục được hoàn toàn hai nhược điểm này đồng thời có thêm nhiều ưu điểm mới.

2. OLED đáp ứng tốt nhiều yêu cầu dùng làm màn hình phẳng,
Ở bài LED và OLED (xem tại đây) ta đã thấy LED là điốt phát sáng (light emitting diode) thường làm bằng bán dẫn hợp chất AsGa. chủ yếu ở đây là tạo ra được tiếp xúc p-n, khi tác dụng điện thế theo chiều thuận điện tử và lỗ trống đều chạy vế phía có tiếp xúc p-n, chúng gặp nhau, tái hợp thành nguyên tủ trung hòa và phát ra photon. Bán dẫn AsGa được chọn để làm LED là vì photon phát ra có bước sóng λ vào cỡ sóng ánh sáng nhìn thấy.
Với hiệu suất phát sáng rất cao, dễ điều khiển bằng điện, LED đã trở thành nguốn sáng vô cùng tiết kiệm, hiệu quả đang lấn át nhiều nguồn sáng lâu nay vẫn dùng như đèn sợi đốt, đèn huỳnh quang v.v...

Nhưng sử dụng LED làm màn hình gặp phải nhiều hạn chế. Từ phiến bán dẫn làm ra hàng triệu LED để rồi cắt ra làm thành hàng triệu đèn LED rời rạc thì dễ, nhưng trên một bề mặt như là màn hình, đồng thời làm hàng triệu triệu đèn LED nằm khít nhau để mỗi đèn LED trở thành một phần tử ảnh là rất khó, rất tốn kém. Vì vậy người ta chuyển sang dùng OLED tức là LED hữu cơ (organic light emitling diode) để làm màn hình.

Tìm hiểu sâu và so sánh LED và OLED

Tìm hiểu sâu và so sánh LED và OLED

Nhũng điện thoại di dộng mới nhất hiện nay có màn hình to cỡ 4 ngón tay, hình ảnh hiện lên nhìn theo góc nào cùng thấy sáng rõ, điều khiển dễ dàng bằng cách lấy ngón tay chạm nhẹ vào các biểu tượng trên màn hình. Muốn phóng đại hình ảnh nào trên màn hình chỉ cần để hai đầu ngón tay vào đấy rồi búng ra xa, ảnh phóng đại lập tức hiện lên.
Ở góc ngoài của màn hình có in chữ AMOLED, ý nói màn hình này được chế tạo theo một số công nghệ mới nào đó. Vậy AMOLED là gì? AM là ghép hai chữ đầu của Active Matrix nghĩa là ma trận tích cực, còn OLED là ghép các chữ đầu của Organic Light Emitting Diode nghĩa là đi ốt phát sáng hữu cơ.

Về cách điều khiển theo kiểu tiếp xúc bằng đầu ngón tay bạn có thể tìm hiểu thêm ở bài viết vế Touch Screen tại đây. AMOLED là công nghệ chế tạo chính làm ra màn hình, liên quan đến những thành tựu vật lý mới cần lần lượt tìm hiểu kỹ để hiểu được cách vận dụng tổng hợp ở AMOLED. Truớc hết chúng ta tìm hiểu LED để hiểu được OLED. Sau đấy tìm hiểu TFT tức là transito màng mỏng (thin film transistor) linh kiện chính để điều khiển từng phần tử ảnh (pixel) trên màn hình. Cuối cùng ta xét đến cấu tạo và cách tạo ra hình ảnh của màn hình AMOLED.

Giới thiệu chi tiết về chất bán dẫn

Giới thiệu chi tiết về chất bán dẫn

Các khái niệm cơ bản về bán dẫn
Trong quá trình phân loại vật chất đối với quá trình dẫn điện, người ta chia các vật liệu ra thành ba loại. Đó chính là các vật liệu dẫn điện (như kim loại) và các vật liệu không dẫn điện/cách điện và loại thứ ba là các vật liệu bán dẫn. Các vật liệu dẫn điện là các vật liệu cho phép các dòng điện truyền qua còn các vật liệu cách điện hay không dẫn điện là các vật liệu không cho dòng điện truyền qua.

Chất bán dẫn là vật chất có điện trở suất nằm ở giữa trị số điện trở suất của chất dẫn điện và chất điện môi khi ở nhiệt độ phòng: ρ = 10^-4 ÷ 10^7 Ω.m

Trong kỹ thuật điện tử chỉ sử dụng một số chất bán dẫn có cấu trúc đơn tinh thể, quan trọng nhất là hai nguyên tố Gecmani và Silic. Thông thường Gecmani và Silic được dùng làm chất chính, còn các chất như Bo, Indi (nhóm 3), phôtpho, Asen (nhóm 5) làm tạp chất cho các vật liệu bán dẫn chính. Đặc điểm của cấu trúc mạng tinh thể này là độ dẫn điện của nó rất nhỏ khi ở nhiệt độ thấp và nó sẽ tăng theo lũy thừa với sự tăng của nhiệt độ và tăng gấp bội khi có trộn thêm tạp chất.

Chất bán dẫn chủ yếu được cấu tạo từ các nguyên tử có 4 electron lớp ngoài trong cấu trúc nguyên tử của chúng. Như vậy, về bản chất, các chất bán dẫn có 4 electron lớp ngoài cùng mà đặc trưng là 2 chất bán dẫn Ge và Si.


Cấu tạo nguyên tử của Silic

Ở dạng rắn, các nguyên tử cấu tạo nên chất bán dẫn được sắp xếp theo một cấu trúc có thứ tự mà chúng ta gọi là dạng tinh thể. Mỗi nguyên tử chia sẻ các electron của chúng với các nguyên tử ngay cạnh để tạo nên một cấu trúc bên vững có 8 electron lớp ngoài cho nguyên tử nằm tại vị trí trung tâm. Như vậy, mỗi nguyên tử xung quanh nguyên tử trung tâm sẽ chia sẻ 1 electron với nguyên tử trung tâm để tạo thành một cấu trúc bền vững có 8 electron lớp ngoài (đối với nguyên tử trung tâm). Như vậy có thể nói, liên kết giữa nguyên tử trung tâm với 4 nguyên tử xung quanh sẽ dựa trên chủ yếu 4 liên kết hóa trị. Dưới tác dụng của nhiệt, các nguyên tử sẽ tạo ra các dao động xung quanh vị trí cân bằng và tại một giá trị xác định nào đó, nhiệt độ có thể phá vỡ các liên kết hóa trị và tạo ra các electron tự do. Tại vị trí của các electron tự do vừa bứt ra sẽ thiếu 1 electron và trở thành các lỗ trống. Lỗ trống này có xu hướng nhận thêm 1 electron nhằm tạo lại sự cân bằng.
Hình 1: Cấu trúc tinh thể Ge biểu diễn trong không gian 2 chiều

Chất bán dẫn mà ở mỗi nút của mạng tinh thể của nó chỉ có nguyên tử của một loại nguyên tố thì chất đó gọi là chất bán dẫn nguyên tính (hay chất bán dẫn thuần) và được ký hiệu bằng chỉ số i (Intrinsic).

Mạch tích hợp (IC - Integrated Circuits) là gì?

Mạch tích hợp (IC - Integrated Circuits) là gì?

Các mạch tích hợp hay IC là các thiết bị được sử dụng trong hầu hết các thiết bị điện tử hiện nay. Sự phát triển của công nghệ bán dẫn và phương pháp chế tạo dẫn đến việc phát minh ra Mạch tích hợp. Trước khi phát minh ra IC, tất cả các thiết bị cho các nhiệm vụ tính toán đã sử dụng ống chân không để thực hiện cho các cổng logic và công tắc. Ống chân không, thời sơ khai là thiết bị tương đối lớn, tiêu thụ điện năng cao. Đối với bất kỳ mạch nào, các phần tử mạch rời rạc phải được kết nối bằng tay. Ảnh hưởng của các yếu tố này dẫn đến các thiết bị điện tử khá lớn và đắt tiền ngay cả đối với nhiệm vụ tính toán nhỏ nhất. Do đó, một chiếc máy tính, năm thập kỷ trước có kích thước khổng lồ và rất đắt tiền, và máy tính cá nhân là một giấc mơ rất xa vời.

Các bóng bán dẫn và điốt (transistors and diodes) dựa trên chất bán dẫn (Semiconductor), có hiệu suất năng lượng cao hơn và kích thước siêu nhỏ, đã thay thế các ống chân không và việc sử dụng chúng. Do đó, một mạch lớn có thể được tích hợp trên một mảnh nhỏ của vật liệu bán dẫn cho phép tạo ra các thiết bị điện tử tinh vi hơn. Mặc dù các mạch tích hợp đầu tiên chỉ có một số lượng nhỏ các bóng bán dẫn trong đó, nhưng hiện tại trong một khu vực nhỏ như móng tay của bạn có thể tích hợp hàng tỷ bóng bán dẫn. Bộ xử lý Intel Core Six-Core, Core i7 (Sandy Bridge-E) chứa 2.270.000.000 bóng bán dẫn trong miếng silicon kích thước 434 mm². Dựa trên số lượng bóng bán dẫn có trong một IC, chúng được phân loại thành nhiều thế hệ.

SSI – Small Scale Integration – Tích hợp quy mô nhỏ - một vài bóng bán dẫn (<100)
MSI –Medium Scale Integration – Tích hợp quy mô trung bình (< 1000)
LSI – Large Scale Integration – Tích hợp quy mô lớn - hàng ngàn bóng bán dẫn (10,000 ~ 100,000)
VLSI-Very Large Scale Integration – Tích hợp quy mô rất lớn - hàng triệu đến hàng tỷ (106~ 109)

Dựa trên nhiệm vụ, IC được phân thành ba loại, tín hiệu số, tín hiệu tương tự và tín hiệu hỗn hợp (Digital, Analog and mixed signal). Digital IC được thiết kế để hoạt động ở các mức điện áp riêng biệt và chứa các phần tử kỹ thuật số như flip-flop, bộ ghép kênh-multiplexers, bộ mã hóa tách kênh-demultiplexers encoders, bộ giải mã-decoders và thanh ghi-registers. IC kỹ thuật số thường là bộ vi xử lý-microprocessors, vi điều khiển-microcontrollers, bộ hẹn giờ-timers, Mảng logic khả trình (FPGA-Field Programmable Logic Arrays) và các thiết bị bộ nhớ-memory devices (RAM, ROM và Flash), trong khi IC tương tự-analog IC là các cảm biến-sensors, bộ khuếch đại thuật toán-operational amplifiers và các mạch quản lý nguồn thu gọn. Bộ chuyển đổi tương tự sang số (ADC-Analog to Digital Converters) và Bộ chuyển đổi kỹ thuật số sang tương tự (DAC-Digital to Analog Converters) sử dụng cả hai yếu tố tương tự và kỹ thuật số; do đó, các IC này xử lý cả các giá trị điện áp rời rạc và liên tục. Vì cả hai loại tín hiệu được xử lý, chúng được đặt tên là IC hỗn hợp-Mixed IC.

Photolithography - Quang khắc trong xử lý wafer

Photolithography - Quang khắc trong xử lý wafer

Là tập hợp các quá trình quang hoá nhằm tạo ra các chi tiết trên bề mặt phiến silicon (wafer) có kích thước và hình dạng giống như thiết kế. Để làm được điều này cần phải có những bộ mặt nạ (mask), chất cảm quang (photoresist) nguồn sáng UV và dung dịch hiện hình (developer). Mặt nạ thường là một tấm thuỷ tinh hữu cơ được phủ một màng crôm trên đó khắc hoạ những chi tiết phù hợp với thiết kế của cảm biến hoặc mạch tích hợp (IC).
Người ta phủ lên trên bề mặt phiến silicon có tính chất nhậy sáng đặc biệt (photoresist) – thường được gọi là chất cảm quang. Chất cảm quang phải bảo đảm hai tính chất: Nhạy quang và bền vững trong các dung môi axít hoặc kiềm. Chất cảm quang có nhiệm vụ là lớp bảo vệ có hình dạng cần thiết cho bề mặt khỏi bị tác dụng của các dung môi hoá học. Người ta phân loại cảm quang thành cảm quang dương và cảm quang âm dựa vào cơ chế phản ứng xẩy ra trong cảm quang khi bị chiếu sáng và sự thay đổi tính chất trong quá trình chiếu sáng. Cảm quang âm khi bị chiếu sáng trở nên không bị hoà tan trong các dung môi tương ứng. Còn các cảm quang dương thì ngược lại, khi bị chiếu sáng sẽ hoà tan trong các dung môi.

Dung dịch hiện Developer cho phép hiện hình những chi tiết tạo ra trên lớp cảm quang do tác dụng của nguồn UV. Quá trình này giống như quá trình rửa ảnh trong kỹ thuật nhiếp ảnh. Ở mặt nạ đầu tiên quá trình quang khắc được thực hiện khá đơn giản: đặt phiến silicon lên gá, thiết lập các điều kiện cần thiết như chân không, khí nén, chế độ tiếp xúc, công suất UV, thời gian chiếu sáng … và chiếu sáng. Tuy vậy để chế tạo một mạch tổ hợp người ta phải dùng tới nhiều bộ mặt nạ khác nhau. Để các chi tiết trên mặt nạ, trên phiến silicon của lần chế tạo trước đó (với một mặt khác trong cả bộ) trùng khít lên những chi tiết của mặt nạ hiện tại người ta phải dùng một kỹ thuật gọi là kỹ thuật đồng chỉnh (so mask hay mask aligner). Kỹ thuật này được thực hiện thông qua những dấu hiệu gọi là dấu so (mask marks) với sự trợ giúp quang học (kính hiển vi, CCD camera…) và hệ vi chỉnh cơ khí theo các chiều X,Y và chỉnh méo. Thông qua những dấu so đặc biệt này người ta có thể chắc chắn được rằng mọi chi tiết trên phiến silicon nhận được từ các mặt nạ khác nhau là trùng khít lên nhau. Trong quá trình chế tạo photođiốt chúng ta sẽ sử dụng một bộ 03 mặt nạ.